点击图片查看原图 ARINNA能够测量离散的步高和表面质量，垂直分辨率为 <2nm。巨型像素摄像头可在 1 秒内捕获表面扫描。可用于在线缺陷检测和特征化、光学表面和结构测量、3D表面拓扑测量、MEMS/NEMS 检测等。
ARINNA 是一种高速干涉仪，它结合了纳米级表面测量的优点、坚固性和小巧的占地面积，使其能够在您需要的地方进行在线测量。虽然干涉仪带来了速度、精度和无损测量的优势，但阶梯结构和嘈杂的环境通常是它们的局限性。ARINNA 并非如此。
ARINNA 采用的波长扫描技术避免了在测量头中进行机械扫描的需要，正如一些干涉测量系统所采用的那样。这克服了对测量速度和系统集成（例如头部 360 度定向的能力）的相关限制。对于在线使用，ARINNA 的设计中集成了获得专利的振动补偿技术。这种技术避免了对大型和/或复杂的隔离系统的需要；有时是高精度光学测量系统在现场应用的限制因素。
AR2
| 李银 QQ：3636923259 手机：17150029804 电话：010-64714988-222 传真：010-64714988-668 邮件：tk6@handelsen.cn |
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Z 范围 （μm） 96
每次捕获 FOV （毫米） 2，8 x 2，8。
Z 分辨率 （μm） 0,002
结果时间（秒） 1，5 （0，9 测量 +0，6 计算）
工作距离（毫米） 34
分辨率为 15kHz 有色 0，007%，有色 0，009%
零/偏移调整 是的
典型的热漂移 0，01% F.S.*/C
LED 范围指示器 是的
其他功能 带宽：100 赫兹、1 kHz、10 kHz、15 kHz（用户可选）
AR5
Z 范围 （μm） 14
每次捕获 FOV （毫米） 1，1 x 1，1
Z 分辨率 （μm） 0,002
结果时间（秒） 1,5
每次捕获 FOV （毫米） 0，55 x 0，55
Z 分辨率 （μm） 0,002
工作距离（毫米） 34
分辨率为 15kHz 有色 0，007%，有色 0，009%
零/偏移调整 是的
典型的热漂移 0，01% F.S.*/C
LED 范围指示器 是的
其他功能 带宽：250 赫兹、1 kHz、10 kHz、15 kHz（用户可选）
AR10
Z 范围 （μm） 2,4
结果时间（秒） 1,5
工作距离（毫米） 33,5
分辨率为 15kHz 有色 0，009%，有色 0，011%
零/偏移调整 是的
典型的热漂移 0，04% F.S.*/C
LED 范围指示器 是的
其他功能 两个环境范围 - 标准到 125C，高到 200C
AR20
Z 范围 （μm） 1,6
每次捕获 FOV （毫米） 0，28 x 0，28
Z 分辨率 （μm） 0,002
结果时间（秒） 1,5
工作距离（毫米） 20
分辨率为 15kHz 100纳米@1kHz
零/偏移调整 不
典型的热漂移 0，04% F.S.*/C
LED 范围指示器 不
其他功能 两个环境范围 - 标准到 125C，高到 200C
AR50
Z 范围 （μm） 0,9
每次捕获 FOV （毫米） 0，11 x 0，11
Z 分辨率 （μm） 0,002
结果时间（秒） 1,5
工作距离（毫米）
分辨率为 15kHz 有色 0，02%，有色 0，02%
零/偏移调整 是的
典型的热漂移 0，04% F.S.*/C
LED 范围指示器 是的
IBS 光学高速干涉仪ARINNA AR2/AR5/AR20/AR50