荷兰IBS Precision Engineering

 

 

 ARINNA能够测量离散的步高和表面质量，垂直分辨率为 <2nm。巨型像素摄像头可在 1 秒内捕获表面扫描。可用于在线缺陷检测和特征化、光学表面和结构测量、3D表面拓扑测量、MEMS/NEMS 检测等。

 

 

技术参数

 

Z 范围 （μm） 0,9

每次捕获 FOV （毫米） 0，11 x 0，11

Z 分辨率 （μm） 0,002

结果时间（秒） 1,5

工作距离（毫米）

分辨率为 15kHz 有色 0，02%，有色 0，02%

零/偏移调整 是的

典型的热漂移 0，04% F.S.*/C

LED 范围指示器 是的

 

 

 

 ARINNA 是一种高速干涉仪，它结合了纳米级表面测量的优点、坚固性和小巧的占地面积，使其能够在您需要的地方进行在线测量。虽然干涉仪带来了速度、精度和无损测量的优势，但阶梯结构和嘈杂的环境通常是它们的局限性。ARINNA 并非如此。

 

ARINNA 采用的波长扫描技术避免了在测量头中进行机械扫描的需要，正如一些干涉测量系统所采用的那样。这克服了对测量速度和系统集成（例如头部 360 度定向的能力）的相关限制。对于在线使用，ARINNA 的设计中集成了获得专利的振动补偿技术。这种技术避免了对大型和/或复杂的隔离系统的需要；有时是高精度光学测量系统在现场应用的限制因素。